一种管状铬靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910397062.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109972100A | 公开（公告）日 | 2019-07-05 |
| 申请公布号 | CN109972100A | 申请公布日 | 2019-07-05 |
| 分类号 | C23C14/34;B22F3/15;B22F3/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘慧渊 | 申请（专利权）人 | 无锡飞而康新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李静 |
| 地址 | 214145 江苏省无锡市新吴区鸿山街道鸿山路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一种管状铬靶材的制备方法。所述方法包括过渡层的制备、包套的制备、包套脱气、热等静压、退火处理、机加工等步骤，通过本发明的方法制备得到的管状铬靶材没有裂纹产生、不会发生弯曲变形、致密度＞99％，纯度高，极大的提高了产品的合格率。 |
