一种耐强酸的光掩膜及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201310654685.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103616795B | 公开（公告）日 | 2017-03-29 |
| 申请公布号 | CN103616795B | 申请公布日 | 2017-03-29 |
| 分类号 | G03F1/68(2012.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐根;陈社诚;周志刚 | 申请（专利权）人 | 湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 代理机构 | 长沙智嵘专利代理事务所 | 代理人 | 湖南普照信息材料有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 地址 | 410205 湖南省长沙市岳麓区麓枫路40号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种耐强酸的光掩膜及其制作方法。该耐强酸的光掩膜包括：玻璃基板和设置在玻璃基板上的铬膜层，其中铬膜层包括朝向远离玻璃基板方向依次设置的铬碳氮化物遮光膜层和铬氮氧化物减反射膜层。该制作方法包括获取玻璃基板，在玻璃基板上形成铬膜层，其中形成铬膜层的步骤包括：在玻璃基板上形成铬碳氮化物遮光膜层；在铬碳氮化物遮光膜层上形成铬氮氧化物减反射膜层。本发明的具有双层结构铬膜层的光掩膜具有良好的耐强酸腐蚀性，因此可以采用强酸对本发明提供的光掩膜进行清洗，以使其保持洁净的状态，进而保证存储信息的可靠性。 |
