一种基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010352156.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112129235A | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN112129235A | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王肖珩;肖志河;周翔;乔元哲;陈大鹏 | 申请（专利权）人 | 中国长峰机电技术研究设计院 |
| 代理机构 | 北京格允知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京环境特性研究所;中国长峰机电技术研究设计院;北京遥感设备研究所 |
| 地址 | 100854北京市海淀区永定路50号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步骤：获得透明薄膜的透过率光谱；分别连接相邻两波峰、相邻两波谷，做出光谱曲线的包络线；标记相邻两个波峰所在位置，将两个波峰的波长分别记为λ1、λ2，然后分别标记两个波峰与包络线相交处的透射率的最大值、最小值，分别记为TM1，Tm1和TM2，Tm2；分别计算λ1、λ2处的折射率n1和n2；根据两相邻波峰的折射率，按照如下公式计算透明薄膜厚度d。该方法利用透过率光谱来计算透明薄膜厚度，快速、便捷、无损伤，不影响薄膜的二次加工及后续工艺，可随时检测薄膜的成膜质量。 |
