一种基于前驱溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202010351032.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112133638A | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN112133638A | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | H01L21/365(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王肖珩;肖志河;周翔;乔元哲;周健 | 申请（专利权）人 | 中国长峰机电技术研究设计院 |
| 代理机构 | 北京格允知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京环境特性研究所;中国长峰机电技术研究设计院;北京遥感设备研究所 |
| 地址 | 100854北京市海淀区永定路50号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于前驱体溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其应用。该方法通过将前驱体溶液通过化学气相沉积法得到ZnO膜，所述前驱体溶液为添加有乙酸的乙酸锌水溶液，通过控制乙酸在前驱体溶液中的浓度来控制ZnO膜的成膜厚度；其中，乙酸在前驱体溶液中的浓度为0.06‑0.09。本发明通过调节前驱体溶液中的乙酸浓度来控制热解反应及ZnO高温结晶生长速度，进而非常有效地改变ZnO薄膜厚度；本发明将乙酸在前驱体溶液中的浓度控制在0.06‑0.09，找到了最适合ZnO薄膜均匀稳定生长的乙酸浓度，并能够达到利用乙酸浓度调控薄膜厚度在百纳米级的变化，成膜厚度从200nm～400nm可调。 |
