一种盛放于石英舟中硅片用的降温器
基本信息
| 申请号 | CN201521110104.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205258663U | 公开（公告）日 | 2016-05-25 |
| 申请公布号 | CN205258663U | 申请公布日 | 2016-05-25 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李世杰;吴成志;陈世杰;刘晓燕 | 申请（专利权）人 | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄元汇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 刘闻铎 |
| 地址 | 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街289号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，属于降温设备技术领域，该降温器包括框架式的支撑架，支撑架下部设置有置物架，置物架包括平行排布的一组横杆，相邻两横杆的间距小于石英舟的长度，支撑架上部设置有门型支架，支架下端面设置有风扇组，风扇组与置物架位置上下相对，风扇组包括四个位于同一直线上的风扇，四个风扇中，相邻的两个风扇转向相反，且风向均为向下，横杆上设置有一组等距离的定位槽，定位槽的内轮廓与石英舟的底部外轮廓相吻合，将载有硅片的石英舟放置于两个相邻横杆上的定位槽中，使用四个风扇进行风冷降温，该降温器能够对大量硅片均匀降温，且降温效率明显提高，硅片的利用率也能得到提升。 |
