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一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构

基本信息

申请号 CN201510114510.6 申请日 -
公开（公告）号 CN104674336B 公开（公告）日 2017-02-22
申请公布号 CN104674336B 申请公布日 2017-02-22
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 黄永恩;任丙彦;李世杰;范全东;武哲 申请（专利权）人 宁晋赛美港龙电子材料有限公司
代理机构 石家庄元汇专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 刘闻铎
地址 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街289号
法律状态 -

摘要

摘要 一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构，牵引机构包括由均为圆柱体结构的软轴、连接杆、重锤及卡楔按照由上到下的顺序连接而成的提升装置，提升装置的外部设置有除杂装置，除杂装置包括除杂桶、除杂碗及定位机构，除杂桶内壁固定设置有多个环形的由阻尘台，最下端的阻尘台内侧上端面与卡楔的下端面接触定位，上部的阻尘台内壁与提升装置外侧面接触定位，除杂桶的上部设置有两对贯穿孔及贯穿孔中的定位杆，连接杆穿过两定位杆之间，两定位杆下端与重锤的上端面接触定位，牵引机构在牵引籽晶生成单晶时，提升装置掉落的杂质被除杂装置收集，该机构会大大降低单晶断苞率，大大提高生产效率，生产成本也随之降低。