一种高均匀性LED平行光曝光机光源系统
基本信息
| 申请号 | CN201720073645.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206848690U | 公开（公告）日 | 2018-01-05 |
| 申请公布号 | CN206848690U | 申请公布日 | 2018-01-05 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周玉刚;蔡云峰 | 申请（专利权）人 | 南京新趋势光电有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 南京新趋势光电有限公司 |
| 地址 | 210046 江苏省南京市南京是栖霞区恒园路龙港科技园B2栋401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高均匀性LED平行光紫外曝光机光源系统，包由阵列排布的紫外LED灯珠和对应的准直透镜紫外LED组成的平行光源模组、支撑光源模组或样品移动的机械与控制系统，该机械与控制系统使曝光时光源模组与样品在x‑y二维平面内相对运动，其运动轨迹均匀分布且最外围覆盖光源模组的最小重复单元。本实用新型采用移动旋转系统及其平行光源模组极大地提高了曝光均匀度，同时因降低了光源发散角而使得曝光强度提高，提高了曝光质量，解决了因分辨率不一致而导致的断线等现象；本实用新型还有利于多种波长的平行光实现均匀曝光，从而适应不同的油墨、光阻。 |
