电磁生物传感器装置及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201110033186.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102621188B | 公开（公告）日 | 2015-09-30 |
| 申请公布号 | CN102621188B | 申请公布日 | 2015-09-30 |
| 分类号 | G01N27/04(2006.01)I;G01N33/543(2006.01)I;H01L27/22(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈思 | 申请（专利权）人 | 北京慈欣生物科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京正理专利代理有限公司 | 代理人 | 东莞博识生物科技有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市城区运河东3路80号丹桂院1座601室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种电磁生物传感器，包括：制作在单晶硅衬底上的开关器件，制作在开关器件上受开关器件控制的磁隧道结器件，形成在所述磁敏传感器上方的钝化层，和形成在所述钝化层上的聚合物绝缘层。本发明进一步提供一种电磁生物传感器装置及其制作方法。根据本发明的方法，利用压焊技术将芯片焊接在印刷电路板上，节省了在聚合物绝缘层上形成触点的工艺步骤，无需在聚合物绝缘层上提供金属层并对金属层进行刻蚀的复杂工艺。 |
