一种测厚方法、装置及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110485246.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113218315A | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN113218315A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | G01B11/06（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张云龙;金少峰;郭俊敏 | 申请（专利权）人 | 深圳市深视智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市六加知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许铨芬 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区2号楼501-504 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及测量方法技术领域，公开了一种测厚方法、装置及系统，该方法首先获取待测物体的当前检测厚度，接着获取标定物体的厚度变化量，以得到所述待测物体的温度漂移变化量，最后根据所述温度漂移变化量，对所述当前检测厚度进行补偿，以得到所述待测物体的实际厚度，本发明实施例提供的测厚方法能够解决由环境温度的变化导致的测厚数据不准确的问题，提高生产效率。 |
