微通道板电性能动态测试台
基本信息
| 申请号 | CN200920190685.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201477165U | 公开（公告）日 | 2010-05-19 |
| 申请公布号 | CN201477165U | 申请公布日 | 2010-05-19 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈楠 | 申请（专利权）人 | 杭州千盟光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天欣专利事务所 | 代理人 | 杭州千盟光电科技有限公司 |
| 地址 | 311400 浙江省富阳市富春街道秋丰村孙家垄80号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。本实用新型结构设计合理，功能实用，观测准确。 |
