一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201921893024.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210379094U | 公开（公告）日 | 2020-04-21 |
| 申请公布号 | CN210379094U | 申请公布日 | 2020-04-21 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/042 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曾德栋;鲍亚平;陈议文;崔红云;韩锦明 | 申请（专利权）人 | 海南英利新能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 570000 海南省海口市海口国家高新技术产业开发区狮子岭工业园区光伏南路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置，包括滚轮，硅片进口位置处设有水膜装置，所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管，以及与所述喷水管连通的进水管，以及所述喷水管上设置的多个喷水孔，所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。本装置在现有刻蚀设备的基础上进行改造，改造成本低，可以有效提高刻蚀过程的A级品率，为企业减少生产成本。 |
