再利用硅片的制绒方法
基本信息
| 申请号 | CN201410024937.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103730347B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN103730347B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 符昌京;许明金;方菊英;王家道;王川;聂文广;王庆森;曾德栋;邱维运 | 申请（专利权）人 | 海南英利新能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 海南英利新能源有限公司 |
| 地址 | 海南省海口市国家高新技术产业开发区狮子岭工业园区光伏南路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种再利用硅片的制绒方法，包括以下步骤：步骤S10：将制绒设备或湿法刻蚀设备的工艺槽的顶槽内的药液排空；步骤S20：使再利用硅片经过工艺槽的顶槽后进入碱洗槽进行碱洗；步骤S30：使碱洗后的再利用硅片进入酸槽。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中再利用硅片易出现亮片以及变薄的问题。 |
