一种高精度薄膜端导溅射治具
基本信息
| 申请号 | CN202022669922.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213803966U | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN213803966U | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛静蓉;杨路华;王永生;岳晴瑞;李萌;郭菊芳;邹凤誉;高思静;李岁萌;王丽莎;刘利;王卫东 | 申请（专利权）人 | 陕西华经微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安文盛专利代理有限公司 | 代理人 | 佘文英 |
| 地址 | 710065 陕西省西安市电子西街3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高精度薄膜端导溅射治具，包括上盖板钢模板和下盖板钢模板，上盖板钢模板和下盖板钢模板的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致；将上盖板钢模板、下盖板钢模板与上盖板主体、下盖板主体点焊在一起形成溅射治具上盖板和下盖板；上盖板和下盖板紧挨溅射产品处左右两侧分别设计两道凹槽，使上盖板和下盖板与溅射产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。本实用新型通过对公差的精密设计要求，达到了能够双面溅射的效果，提高了溅射效率。 |
