一种旋转钼管靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010978797.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112376022A | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN112376022A | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张灵杰 | 申请（专利权）人 | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学鹏 |
| 地址 | 471000河南省洛阳市涧西区先进制造业集聚区科技二路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种旋转钼管靶材的制备方法，具体为：步骤一、将钼粉分两次装入带模具的胶套内，经烧结、冷却、泄压脱模得钼管毛坯，其中钼粉纯度>99.96%，费氏粒度为2.0~3.0μm、粒度分布为单峰，正态分布，d（0,1）=6~6.5μm，d（0,5）=14~15μm，d（0,9）=40~45μm；步骤二、烧结后钼管毛坯经过高温喷射钼粉浆料后干燥，再经过空气锤平直，得钼管坯料；步骤三、平直后将钼管坯料进行精细加工得钼管靶材。本发明工艺简单，钼管内部结构均匀，无明显密度差距，烧结后旋转钼靶材坯料密度10.0g/cm3以上。 |
