一种钼钠合金旋转靶的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910585780.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110396667A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110396667A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I; C23C14/14（2006.01）I; C23C10/36（2006.01）I; B22F5/12（2006.01）I; B22F3/24（2006.01）I; B22F3/10（2006.01）I; B22F3/04（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张灵杰; 彭光辉; 杨雷雷; 岳慎伟 | 申请（专利权）人 | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市涧西区先进制造业集聚区科技二路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种钼钠合金旋转靶的制备方法，包括制备球形钼粉颗粒的步骤，通过将球形钼粉颗粒装入管靶模具中冷等静压制成型以及将压制好的粉质钼管坯预烧结处理获得理想孔隙度范围的钼管坯，再通过熔渗钼酸钠获得需求钠含量的钼钠合金管坯体，将钼钠合金管坯体装入钛板卷制的空心管状模具中完成真空封口焊接，最后通过热等静压制进一步提高钼钠合金旋转靶密度，本发明制得的旋转靶的相对密度＞98.0%，Na含量处于0.5%‑2.5%之间，本发明制成的靶材密度高，成分均匀，可进行后续的机械加工，镀膜效果好并且能够快速实现国产化量产。 |
