离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置
基本信息
申请号 | CN201710447946.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107064175B | 公开(公告)日 | 2019-11-01 |
申请公布号 | CN107064175B | 申请公布日 | 2019-11-01 |
分类号 | G01N21/958(2006.01)I; B65G49/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘福涛; 郑权; 胡恒广; 王丽红; 严永海 | 申请(专利权)人 | 福州东旭光电科技有限公司 |
代理机构 | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 陈庆超;桑传标 |
地址 | 350000 福建省福州市保税港区加工贸易区监管大楼109室072区间(福清市新厝镇新江路9号)(自贸试验区内) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本公开涉及一种离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置,该传送装置包括机架组件、安装到机架组件上的顶升组件、气浮组件、定位组件和驱动组件,气浮组件用于气浮玻璃基板,顶升组件可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置,在伸出位置,顶升组件在竖直方向凸出于气浮组件以承接或承送玻璃基板,在收纳位置,顶升组件在竖直方向不凸出于气浮组件以由气浮组件浮起玻璃基板,定位组件在传送玻璃基板前将玻璃基板定位在气浮组件上,驱动组件夹紧并驱动定位后的玻璃基板沿气浮组件的长度方向往复移动。因此,有效避免滚轮传送对玻璃基板边部质量的影响,减少缺陷的产生,实现高精度传送,结合检测单元能实现玻璃基板高精度定位和检测。 |
