一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置

基本信息

申请号 CN201710453855.3 申请日 -
公开(公告)号 CN106996937B 公开(公告)日 2019-09-06
申请公布号 CN106996937B 申请公布日 2019-09-06
分类号 G01N21/958(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 周波; 李青; 王丽红; 胡恒广 申请(专利权)人 福州东旭光电科技有限公司
代理机构 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 耿超;王浩然
地址 350000 福建省福州市保税港区加工贸易区监管大楼109室072区间(福清市新厝镇新江路9号)(自贸试验区内)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置,玻璃基板内缺陷检测方法包括:将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧;在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中,所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2);根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。通过本发明的玻璃基板内缺陷检测方法及装置能够判断玻璃基板内是否存在缺陷,并且能够准确地识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板(3)的板面。