一种纳米金刚石氟化液流体的制备方法
基本信息
申请号 | CN202110252596.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113265231A | 公开(公告)日 | 2021-08-17 |
申请公布号 | CN113265231A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
分类号 | C09K5/10(2006.01)I;G06F1/20(2006.01)I;C01B32/28(2017.01)I | 分类 | 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用; |
发明人 | 张耀中 | 申请(专利权)人 | 南京微米电子产业研究院有限公司 |
代理机构 | 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 邱欢欢 |
地址 | 210000江苏省南京市江北新区星火路19号星智汇商务花园9栋2楼223 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种纳米金刚石氟化液流体的制备方法,包括:S1:原料准备;S2:在上述前驱体溶液外布置水流冷凝循环系统,确保一直处于室温状态,并对前驱体溶液进行进行超声震荡;S3:对上述超声震荡后的前驱体溶液用脉冲激光连续辐照,每隔2小时对溶液取样,测试溶液的电阻率,当电阻率大于1×10欧姆·米,停止辐照,得到纳米金刚石氟化液流体浓缩液;S4:将上述制备得到的纳米金刚石氟化液流体浓缩液按体积比为1:100添加到氟化液溶液中,得到纳米金刚石氟化液流体。本发明其原料来源广泛,价格便宜;且生产步骤简单,非常方便大量的工业生产。 |
