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一种气体传感器检测恢复装置

基本信息

申请号 CN202022268139.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214067058U 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN214067058U 申请公布日 2021-08-27
分类号 G01N33/00（2006.01）I;G01N1/38（2006.01）I;G01N1/44（2006.01）I;G01N1/28（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 杨志;朱剑波;蒋文凯;王涛;齐燕 申请（专利权）人 南京微米电子产业研究院有限公司
代理机构 南京瑞华腾知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 梁金娟
地址 210000江苏省南京市江北新区星火路19号星智汇商务花园14—2栋四层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种气体传感器检测恢复装置，包括通过连通管依次连通的压缩气体瓶、混合气体装置以及检测腔，混合气体装置包括多级，各级混合气体装置的内部均设置有气体混合结构，检测腔的顶端设置有检测帽，检测帽的顶部设置有上沿盖，上沿盖的上表面可拆卸设置有支架，支架下表面设置有激光灯，检测腔的底部设置有加热仓，且检测腔与加热仓之间设置有下沿盖，且下沿盖用于热传导，加热仓的内部设置有加热灯。该气体传感器检测恢复装置设置了多级混合气体装置，让气流更加温和的通过检测腔，防止损伤传感器；设置了加热灯，使检测腔内的气体分子混合充分，加速排出腔室；设置了激光灯加速传感器上附着的气体分子脱附。