打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202110723430.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113445009A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113445009A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;H01J9/12（2006.01）I;H01J43/08（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王亮;王兴超;孙建宁;司曙光;任玲;顾燕;金睦淳;徐海洋;纪路路;周新 | 申请（专利权）人 | 北方夜视科技（南京）研究院有限公司 |
| 代理机构 | 南京行高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王菊花;张康 |
| 地址 | 211106江苏省南京市江宁区秣陵街道康平街2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光电倍增管制作技术领域，具体而言涉及打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法，包括：多个罩体，每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态，所述罩体处于密封状态时，内部形成镀膜腔室；镀膜系统，被设置在所述镀膜腔室内；主抽系统，包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道，所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室。对主抽泵进行隔离而不停机，破坏镀膜腔室的真空状态后使用预抽系统建立真空度优于10Pa的负压环境，再打开主抽泵的隔离，无需破除整个镀膜机系统的真空，无需频繁停启主抽泵，极大缩短了单轮次镀膜的装卸瓦片及排气抽真空时间，提高镀膜效率。 |
