一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810327877.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108588646B | 公开（公告）日 | 2020-05-22 |
| 申请公布号 | CN108588646B | 申请公布日 | 2020-05-22 |
| 分类号 | C23C14/16;C23C14/35;C23C28/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王飞;李佳乐;黄平 | 申请（专利权）人 | 苏州博志金钻科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 田洲 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区长亭路8号大新科技园3幢二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法，采用磁控溅射的方法沉积第一非晶层，然后在第一非晶层上再沉积第二非晶层，交替沉积形成非晶/非晶纳米多层薄膜。本发明制备的多层膜界面明晰,可以很容易通过控制单层薄膜的厚度来得到塑性提高的多层薄膜，从而为制备力学性能可控的非晶/非晶纳米多层薄膜材料提供可能。 |
