一种基于PVD沉积方法的氮化铝陶瓷板和金属的连接方法
基本信息
| 申请号 | CN201810785085.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109136848B | 公开（公告）日 | 2020-04-28 |
| 申请公布号 | CN109136848B | 申请公布日 | 2020-04-28 |
| 分类号 | C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C04B37/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋忠孝;张宏凯;李雁淮;李响 | 申请（专利权）人 | 苏州博志金钻科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 徐文权 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区长亭路8号大新科技园3幢二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于PVD沉积方法的氮化铝陶瓷板和金属的连接方法，所述的方法是：首先在氮化铝陶瓷板表面通过PVD沉积方法形成一层钛膜，然后再沉积一定厚度的银锡层，接着用夹持模具将氮化铝陶瓷板镀膜面和镀有铜膜的金属板(块)贴合并施加一定的压力，最后放入真空退火炉中加热并保温，即可实现氮化铝陶瓷板和金属的高强度连接。本发明在获得氮化铝陶瓷板与金属高焊接强度的同时，简化了传统陶瓷金属连接方法工艺，避免了直接覆铜法中靠氧化物结合而导致的结合面气密性的问题，而且还提高了基板的导热和散热性能。 |
