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一种氨水溶液自动配置供应装置

基本信息

申请号 CN201420491657.8 申请日 -
公开（公告）号 CN204147826U 公开（公告）日 2015-02-11
申请公布号 CN204147826U 申请公布日 2015-02-11
分类号 B01F15/04(2006.01)I;B01F15/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 熊诚雷;魏海霞 申请（专利权）人 洛阳单晶硅集团有限责任公司
代理机构 洛阳明律专利代理事务所 代理人 洛阳单晶硅集团有限责任公司
地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 一种氨水溶液自动配置供应装置，适用于擦片清洗机去除单晶硅抛光片表面污染物。本实用新型主要由原液罐（1）、配置罐（6）、计量泵（12）、氮气供应管路（19）、氮气平衡管路（31）、纯水管路（20）、氨水溶液供应管（27）、控制柜（30）构成；配置氨水溶液时，控制柜（30）触发计量泵（12）工作和打开纯水供应电磁阀（23），浓氨水被计量泵（12）从原液罐（1）打入配置罐（6）与纯水按比例混合稀释，氮气通入原液罐（1）和配置罐（6）产生足够的压力保证氨水溶液从擦片清洗机喷嘴呈扇形喷出。本实用新型安装简单，占地空间小，操作方便，可自动连续配置供应氨水溶液，显著降低了劳动强度，明显提高了工作效率。