一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具
基本信息
| 申请号 | CN201420491373.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204148160U | 公开（公告）日 | 2015-02-11 |
| 申请公布号 | CN204148160U | 申请公布日 | 2015-02-11 |
| 分类号 | B08B1/00(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴跃峰;苗立刚 | 申请（专利权）人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 | 代理人 | 卢洪方 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2）前端面设计成平面，侧面设计成圆形弧度面并加工有开孔（4），开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本实用新型可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物，同时由于毛刷头（2）与加长扁管（1）的吸头（6）组合成一体，使得刷掉的沉积物可立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境。 |
