一种抛光机抛光液管路纯水反冲装置
基本信息
| 申请号 | CN201420491658.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204149032U | 公开（公告）日 | 2015-02-11 |
| 申请公布号 | CN204149032U | 申请公布日 | 2015-02-11 |
| 分类号 | B24B57/00(2006.01)I;B08B9/032(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 卓元 | 申请（专利权）人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 | 代理人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种抛光机抛光液管路纯水反冲装置。本实用新型公开的抛光机抛光液管路纯水反冲装置主要是由纯水供应球阀（1）、纯水流量计（2）、单向阀（3）、三通接头（4）、单向阀（5）构成,纯水供应球阀（1）、纯水流量计（2）、单向阀（3）依次串联后与三通接头（4）的第二支路联接，单向阀（5）的出口与三通接头（4）的第一支路联接，三通接头（4）的第三支路与抛光机内部抛光液管路联接。本实用新型公开的抛光液管路纯水反冲装置结构简单，安装操作方便，安全性能好，可以有效避免SPM-19型抛光机抛光液管路中结晶的形成，降低了设备故障率，增强了工艺稳定性，明显地提高了产品收率。 |
