一种新型过滤器
基本信息
| 申请号 | CN201420491671.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204151450U | 公开（公告）日 | 2015-02-11 |
| 申请公布号 | CN204151450U | 申请公布日 | 2015-02-11 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06;B01D46/24 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李京涛;王新 | 申请（专利权）人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 | 代理人 | 卢洪方 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种新型过滤器，适用于单晶硅拉制过程中产生的氧化物的过滤、清理。本实用新型主要是由上支撑板（1）、下支撑板（2）、提手（3）、外层支撑架（4）、内层支撑架（5）、过滤网（6）、排气孔（7）构成。本实用新型设计体积比传统过滤器小1倍，宽度500~800mm的过滤网（6）依次穿过内层支撑架（5）和外层支撑架（4）构成一个封闭空间，其过滤面积比传统过滤器增加4～5倍。能够将单晶拉制过程中产生的氧化物分散到更大的面积上。本实用新型采用一体式设计，质量轻，便于清理。明显提高了真空泵的抽气率，提高真空泵的使用寿命。 |
