首页/ 洛阳单晶硅集团有限责任公司/ 专利详情

一种单晶炉循环水换热系统

基本信息

申请号 CN201420491659.7 申请日 -
公开（公告）号 CN204151449U 公开（公告）日 2015-02-11
申请公布号 CN204151449U 申请公布日 2015-02-11
分类号 C30B15/00;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 邓德翼;仝泉;高林育 申请（专利权）人 洛阳单晶硅集团有限责任公司
代理机构 洛阳明律专利代理事务所 代理人 卢洪方
地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 一种单晶炉循环水换热系统，适用于单晶生长过程中对单晶炉体进行降温冷却。本实用新型通过换热系统中冷却水换热装置（4）中冷冻水管路（3）中的冷冻水和纯水原水换热装置（6）中的纯水原水管路（9）中的纯水原水对循环水在进入单晶炉前进行降温和对出单晶炉（5）后的回流循环水进行降温的同时，提升制备高纯水用的纯水原水温度。本实用新型有效解决了现有技术中冷却循环水在进入单晶炉时温度控制出现波动、影响单晶生长的问题，并且利用纯水原水给单晶炉循环水回水降温的同时也提升了纯水原水水温使其符合制备高纯水的温度要求，本实用新型减少了设备投资，节省了大量能源，降低了生产成本。