一种箱式石英坩埚检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201420491663.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204151453U | 公开（公告）日 | 2015-02-11 |
| 申请公布号 | CN204151453U | 申请公布日 | 2015-02-11 |
| 分类号 | C30B15/26(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王新 | 申请（专利权）人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 | 代理人 | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种箱式石英坩埚检测装置，适用于硅单晶生产中对石英坩埚是否存在裂纹、气泡、沾污、划痕等缺陷的检测。本实用新型所述的检测装置，主要是由箱体（1）、旋转盘（2）、滚轮（3）、支撑架（4）、检测灯（5）、防碰撞玻璃（6）、轴承（8）、不锈钢圆柱（10）、保护套（11）构成；其中两个滚轮（3）通过支撑架（4）平行安装固定在立方形状的箱体（1）下底面上设置的旋转盘（2）上，箱体（1）的后立面上装有一个圆形检测灯（5）。将石英坩埚（7）放置在两个滚轮（3）上，打开检测灯（5），用手转动石英坩埚（7），这时滚轮（3）及旋转盘（2）便随着旋转，便可检测到石英坩埚（7）是否存在缺陷。本实用新型操作简便，高纯洁净，安全可靠，有效的解决了现有检测手段中所存在的不足。 |
