一种切削液自动配置供应装置

基本信息

申请号 CN201420491619.2 申请日 -
公开(公告)号 CN204149346U 公开(公告)日 2015-02-11
申请公布号 CN204149346U 申请公布日 2015-02-11
分类号 B28D7/02 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 陈卫群;寇文杰;杨波 申请(专利权)人 洛阳单晶硅集团有限责任公司
代理机构 洛阳明律专利代理事务所 代理人 卢洪方
地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 一种切削液自动配置供应装置,适用于半导体硅单晶切片设备在切片过程中产生大量热量的冷却和润滑。本实用新型主要由切削液罐(1)、添加剂贮罐(10)、计量泵(11)、供应泵(12)、热交换系统(13)、控制系统(14)构成。本实用新型在切削液罐(1)内装有上液位传感器(8)和下液位传感器(9),当切削液罐(1)的液位到达下液位传感器(9)时,计量泵(11)和电磁阀(6)自动启动,将添加剂和纯水按比例加入切削液罐(1)内,同样当切削液罐(1)的液位到达上液位传感器(8)时,计量泵(11)和电磁阀(6)自动关闭,实现切削液的自动配置和供应。本实用新型结构简单,安全可靠,可稳定持续向多台内圆切片机提供具有冷却、润滑和助磨功能的切削液,有效提高了内圆刀片的使用寿命和切割硅片的产品质量。