一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置
基本信息
| 申请号 | CN202020452674.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211786585U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211786585U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄燕燕;王笑冰;阚凌雁;柯华恒 | 申请（专利权）人 | 深圳市深大极光科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹卫良 |
| 地址 | 518132广东省深圳市光明新区田寮社区聚汇工业园1栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，本实用新型提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置及对焦方法，通过改变电子变焦透镜的焦距来对焦，调节响应速度快，与机械对焦相比可以快速地使光刻机的光刻图像重新对准焦，适用于光刻机需要快速工作的要求。 |
