一种多晶元盘移载存放机构
基本信息
| 申请号 | CN202011284291.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112644985A | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN112644985A | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | B65G35/00;B65G47/22;B65G43/08;B65G57/30;H01L21/673 | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 贺云波;言益军;王波;刘青山;崔成强 | 申请（专利权）人 | 宁波阿凡达半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 宁波甬致专利代理有限公司 | 代理人 | 李迎春 |
| 地址 | 315200 浙江省宁波市镇海区蛟川街道镇宁西路123号西电宁波产业园C幢2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶元盘移载存放机构，它包括有多工位底板和底座，多工位底板滑动安装在底座上，多工位底板上安装自动收集装置，自动收集装置包括气缸、左侧扶板、右侧扶板、后挡板和抬升底板，左侧扶板、右侧扶板和后挡板围绕在用于存放晶元载盘区间的四周中三个方向，抬升底板位于该区间的底部，且气缸驱动抬升底板上下移动，对称设置的可调式左限位和可调式右限位相对面上设有止挡块，止挡块端侧与反复堆垛在存放晶元载盘区间内的晶元载盘边缘相抵；本发明中公开了一种多晶元盘移载存放机构，包括有自动收集装置，其利用气缸和止挡块可以实现简单便捷的收集和堆叠动作，降低了人工成本，提升资源利用效率。 |
