一种晶元盘推送机构
基本信息
| 申请号 | CN202022652108.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213864296U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213864296U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | B65G47/82（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 贺云波;言益军;王波;刘青山;崔成强 | 申请（专利权）人 | 宁波阿凡达半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 宁波甬致专利代理有限公司 | 代理人 | 李迎春 |
| 地址 | 315200浙江省宁波市镇海区蛟川街道镇宁西路123号西电宁波产业园C幢2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶元盘推送机构，它包括可调节式底板；顶杆；驱动装置，包括丝杆和步进电机，丝杆和步进电机平行设置在可调节式底板上，丝杆端部设有同步带轮，步进电机的输出轴上设有驱动带轮，驱动带轮与同步带轮之间通过同步带连接；自适应推力装置，其包括驱动块和滑动块，驱动块与滑动块之间设有内置弹簧，驱动块与丝杆螺纹连接，滑动块与可调节式底板滑动连接，顶杆安装在滑动块上；本实用新型提出了一种晶元盘推送机构，其采用步进电机与同步带轮的组合，使得驱动力稳定，为了使得晶元盘可以在移动过程中更加柔和，本实用新型采用了自适应推力装置，来保证与晶元盘接触时有着足够的缓冲力，使其可以平稳到达指定位置。 |
