盘状物固定装置
基本信息
| 申请号 | CN201010231111.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102097352B | 公开（公告）日 | 2013-01-23 |
| 申请公布号 | CN102097352B | 申请公布日 | 2013-01-23 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张豹;吴仪;张晓红;韩丽娜 | 申请（专利权）人 | 北京硅元科电微电子技术有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京七星华创电子股份有限公司;北京硅元科电微电子技术有限责任公司 |
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种盘状物固定装置，包括卡盘主体及与其连接并带动盘状物转动的转动轴；通过轴承安装在卡盘主体上，并可与卡盘主体同轴转动的凸轮；连接于凸轮与卡盘主体之间，使得凸轮能够相对于卡盘主体转动的至少一个拉伸弹簧；设置于卡盘主体边缘的至少三个夹持元件；至少三个压缩弹簧，其一端与卡盘主体连接，另一端设置于夹持元件朝向凸轮的一端，通过其弹性力将夹持元件朝向凸轮的一端顶在凸轮上，并且夹持元件的与凸轮的接触端沿夹持元件与凸轮的接触面滑动，使夹持元件卡紧盘状物。本发明公开的盘状物固定装置结构简单、容易实现，不会对盘状物造成弯矩以及与夹持元件产生相对运动从而破坏盘状物，且不限制机械手夹持该盘状物的方式。 |
