凸轮式盘状物夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN201210004761.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102593033B | 公开（公告）日 | 2014-11-19 |
| 申请公布号 | CN102593033B | 申请公布日 | 2014-11-19 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 凯里·雷;贾星杰;吴仪;王波雷;张豹 | 申请（专利权）人 | 北京硅元科电微电子技术有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京七星华创电子股份有限公司;北京硅元科电微电子技术有限责任公司 |
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及集成电路技术领域，具体公开了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。本发明能够方便快捷的实现对盘状物的夹持，且本装置结构简单、成本低廉、易于实现。 |
