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一种滑动装置

基本信息

申请号 CN201120370771.1 申请日 -
公开（公告）号 CN202274738U 公开（公告）日 2012-06-13
申请公布号 CN202274738U 申请公布日 2012-06-13
分类号 F27B17/00(2006.01)I 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 郭跃东;张会英 申请（专利权）人 北京硅元科电微电子技术有限责任公司
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人 北京七星华创电子股份有限公司
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及扩散设备的炉体机箱结构，公开了一种滑动装置，其包括：安装在炉体机箱内且相互平行设置的左滑动机构和右滑动机构，左滑动机构和右滑动机构之间连接炉体支撑机构，炉体放置在炉体支撑机构上，由左滑动机构和右滑动机构带动所述炉体滑入或滑出炉体机箱。本实用新型所公开的滑动装置，设置在现有的炉体机箱内，将炉体放置在滑动装置上，通过推拉滑动装置，实现炉体推进或拉出炉体机箱，因左右导轨前后运动时相互平行，且推拉灵活，轻便，所以炉体进出炉体机箱均可通过操作人员手动操作即可，便于对炉体的维修和更换，提高生产效率。