一种外延片的快速研磨方法及装置

基本信息

申请号 CN202111251036.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113696091B 公开(公告)日 2022-02-08
申请公布号 CN113696091B 申请公布日 2022-02-08
分类号 B24B37/08(2012.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B41/02(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 王岩;徐鹏飞;罗帅;季海铭 申请(专利权)人 江苏华兴激光科技有限公司
代理机构 江苏长德知识产权代理有限公司 代理人 詹朝
地址 221300江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明外延片加工技术领域,公开了一种外延片的快速研磨装置,包括机架以及设于机架上的上料机构和研磨机构,其中上料机构包括上料架,上料架上设有前后方向上设置的滑轨,滑轨上通过滑块设置上料平台,上料架上设有用于驱动上料平台沿滑轨前后方向上移动的直线驱动机构;上料平台上设有上料带,上料带包括多个料座,料座上设有用于容纳工件的圆筒,料座的底部设有用于控制圆筒底部开口的开合的开关单元;上料带前侧或后侧的上料平台上设有与开关单元的拨片配合的挡板,料座通过挡板时开关单元的拨片被挡板推动打开圆筒的开口;本发明通过上料机构对外延片工件进行自动化的上料,提高外延片研磨加工的自动化程度。