一种外延片的存储运输方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202111237173.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113675120B | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN113675120B | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;B65H5/28（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐鹏飞;王文知;王岩;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人 | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏长德知识产权代理有限公司 | 代理人 | 詹朝 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种外延片的存储运输装置，包括输送机构和存储机构，其中存储机构包括多个存储单元，存储单元与存储单元之间通过连接带连接构成带状结构，连接带的材料为柔性材料，存储单元包括存储座，存储座上设有存储筒，存储筒的顶部设有开口，存储筒的顶部开口上设有用于控制开口开合的开关单元，输送机构包括机架，机架上设有两个对称设置的链条，链条由多个链节连接构成，相邻的链节之间通过销轴转动的连接，链节的链板上设有用于夹持存储机构的夹具；本发明通过存储机构有序的存储外延片，有利于后续的加工。 |
