一种具有金属流密封结构的压阻式传感器及其制造方法

基本信息

申请号 CN201310642767.X 申请日 -
公开(公告)号 CN103674398B 公开(公告)日 2016-01-20
申请公布号 CN103674398B 申请公布日 2016-01-20
分类号 G01L9/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 熊贵林;梁庭壮;李树成;严平 申请(专利权)人 新会康宇测控仪器仪表工程有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 新会康宇测控仪器仪表工程有限公司;广东和宇传感器有限公司
地址 529100 广东省江门市新会区会城西门路圭峰高科技园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有金属流密封结构的压阻式传感器及其制造方法,包括基座,基座包括软金属连接体和硬金属压力座,软金属连接体的前端设有第一引压源孔及阶梯孔,后端设有内腔,硬金属压力座内设有第二引压源孔,第二引压源孔靠近内腔的底端形成有封闭第二引压源孔的弹性受压面,弹性受压面背面安装有传感头,硬金属压力座上靠近弹性受压面的一端设有与阶梯孔形成径向空隙分隔的分隔部,另一端设有阶梯轴,阶梯轴的小直径端的外周壁上开设有密封环槽,硬金属压力座压入阶梯孔内,阶梯轴上的阶梯端面推挤阶梯孔的台阶面迫使阶梯孔的小孔内壁塑性变形并流入密封环槽而实现密封和承压。本发明有效阻隔了应力传递,提高了测量精度。