一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构
基本信息
申请号 | CN201922284888.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211537119U | 公开(公告)日 | 2020-09-22 |
申请公布号 | CN211537119U | 申请公布日 | 2020-09-22 |
分类号 | B01D53/02(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 李书萍;周海明;江伟;谢晓丽 | 申请(专利权)人 | 成都瑞奇智造科技股份有限公司 |
代理机构 | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 成都瑞奇石化工程股份有限公司 |
地址 | 610000四川省成都市青白江区青华东路288号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构,涉及多晶硅尾气吸附领域,解决了传统多晶硅尾气吸附装置的进气结构进气不均匀易堵塞的技术问题,该多晶硅尾气吸附装置的进气结构包括集气管、进气支管和增强管。本实用新型用于多晶硅尾气吸附装置中进气不均匀的情况,使气流流通更加均匀,进气结构不宜堵塞、结构牢固不易脱落、使用寿命更长。 |
