一种单、多晶切割改善线痕TTV的切割方法
基本信息
申请号 | CN202111645746.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114378965A | 公开(公告)日 | 2022-04-22 |
申请公布号 | CN114378965A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
分类号 | B28D5/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 王杰;王艺澄;崔三观 | 申请(专利权)人 | 包头美科硅能源有限公司 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 石艳红 |
地址 | 212200江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种单、多晶切割改善线痕TTV的切割方法,放线导辊和收线导辊平行设置于工作台上,放线导辊和收线导辊的同向一端为起始端,另一端为终止端;放线导辊和收线导辊均从起始端至终止端均匀开设n个导线槽,放线导辊中第i个导线槽与收线导辊中第i个导线槽的连线与放线导辊或收线导辊的轴线相垂直;其中,1≤i≤n;将n根金钢线平行布设在n个导线槽内,其中,第i根金钢线的布设方法为:第i根金钢线的一端绕设在放线导辊的第i个导线槽,第i根金钢线的另一端则绕设在收线导辊的第i+a个导线槽内;步骤2、切割晶棒:将晶棒横置于n根金钢线上进行切割,将晶棒切割为若干个晶片,其中晶棒为单晶棒或多晶棒。 |
