一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202121966052.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215856448U | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN215856448U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | C30B15/20（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 齐小方;薛逸文;王艺澄 | 申请（专利权）人 | 包头美科硅能源有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 任立 |
| 地址 | 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置，包括氩气加热管，氩气加热管套设在单晶炉的氩气进气管上，氩气加热管表面缠绕有加热丝，加热丝的一端通过导线连接在电源上，加热丝与电源之间还设有过热保护装置，加热丝的另一端通过导线与红外测温装置的输入端连接，红外测温装置的信号输出端连接有温控表，温控表通过导线与电源相连接，还涉及一种含有上述监测并控制氩气温度装置的单晶炉，该装置结构简单、精度高、稳定性好，可实现对氩气进行加热，监测并精确控制加热温度，从而减小温度不确定的氩气对炉内热场的影响。 |
