一种直拉法单晶硅生产中的保温装置
基本信息
申请号 | CN202122496373.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215856445U | 公开(公告)日 | 2022-02-18 |
申请公布号 | CN215856445U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 李国明;王艺澄;王军磊 | 申请(专利权)人 | 包头美科硅能源有限公司 |
代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 周琪 |
地址 | 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种直拉法单晶硅生产中的保温装置,包括保温筒主体(1),保温筒主体(1)包括相互配合的外筒体(1a)和内筒体(1b),外筒体(1a)套设在内筒体(1b)的外部,且二者之间形成一个环形空腔(2),环形空腔(2)的底部连有一面相配合的环形底板(3),环形底板(3)上设有一组挡板排孔(4),每个挡板排孔(4)包括一组挡板孔(4a),每组挡板孔(4a)上对应连接一个竖直的挡板(5),挡板(5)的宽度与环形空腔(2)的厚度相配合。本实用新型的优点是能够有效的对炉内的温度进行保温,并且能够减小硅液中的温度梯度,对单晶生长营造良好的生长环境。 |
