一种直拉法单晶硅生产中的保温装置

基本信息

申请号 CN202122496373.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215856445U 公开(公告)日 2022-02-18
申请公布号 CN215856445U 申请公布日 2022-02-18
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李国明;王艺澄;王军磊 申请(专利权)人 包头美科硅能源有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 周琪
地址 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种直拉法单晶硅生产中的保温装置,包括保温筒主体(1),保温筒主体(1)包括相互配合的外筒体(1a)和内筒体(1b),外筒体(1a)套设在内筒体(1b)的外部,且二者之间形成一个环形空腔(2),环形空腔(2)的底部连有一面相配合的环形底板(3),环形底板(3)上设有一组挡板排孔(4),每个挡板排孔(4)包括一组挡板孔(4a),每组挡板孔(4a)上对应连接一个竖直的挡板(5),挡板(5)的宽度与环形空腔(2)的厚度相配合。本实用新型的优点是能够有效的对炉内的温度进行保温,并且能够减小硅液中的温度梯度,对单晶生长营造良好的生长环境。