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检测激光加工质量的光学检测模块和系统

基本信息

申请号 CN202023074751.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214427310U 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN214427310U 申请公布日 2021-10-19
分类号 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘文杰;周泉;李静娴 申请（专利权）人 广州德擎光学科技有限公司
代理机构 广州蓝晟专利代理事务所（普通合伙） 代理人 欧阳凯
地址 510290广东省广州市海珠区沥滘振兴大街10号自编15号楼C201单元
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种检测激光加工质量的光学检测模块和系统，该光学检测模块包括分光元件、减光片组、光电传感器和一体成型的光学检测模块外壳；分光元件用于接收检测光束，并将检测光束分成至少两个不同频段的出射光光束；减光片组用于消减分光元件出射光的光强；光电传感器用于接收减光片组出射光，并输出进行光电转换后的检测电信号；分光元件、减光片组和光电传感器依次排列且全部容置于光学检测模块外壳内。本实用新型的光学检测模块外壳整个结构底座一次加工成型后，内置相关光学组件，最大程度的保证三路光学性能偏差的一致性，减少了光电传感器因光路差异带来的检测运算误差，提高了光学检测模块对入射光反应外界激光加工面的检测精度。