一种声表面波滤波器的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810050186.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108155884B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN108155884B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 张厚玉;张雅;程加保;闫坤坤;黄歆 | 申请（专利权）人 | 北京中科飞鸿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;郑哲 |
| 地址 | 100095北京市海淀区北安河七号工业大院 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种声表面波滤波器的制备方法，包括：在选定的石英压电基片上沉积预定厚度的氧化锌薄膜材料，生成氧化锌薄膜层；并在所述氧化锌薄膜层上实现声表面滤波器的性能指标，获得声表面滤波器。本发明实施例具体是通过在基片材料上制作出合适的压电薄膜，组成多层结构基片，以提高基片的高阻率和机电耦合系数，从而大大降低滤波器的插入损耗；同时减小了声表面波的传播速度，降低声表面波的芯片尺寸，减小器件的体积。 |
