一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备
基本信息
| 申请号 | CN201911302735.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110823098A | 公开（公告）日 | 2020-02-21 |
| 申请公布号 | CN110823098A | 申请公布日 | 2020-02-21 |
| 分类号 | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王垒;温简杰 | 申请（专利权）人 | 上海昌润极锐超硬材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海昌润极锐超硬材料有限公司 |
| 地址 | 201111 上海市闵行区陪昆路206号第18幢101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备。该监测方法包括如下步骤：1)在单晶金刚石生长前，移动厚度监测设备在单晶金刚石晶种表面进行光学厚度测量，获得初始的单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据；2)在单晶金刚石生长过程中，移动厚度监测设备在单晶金刚石表面进行光学厚度测量，获得生长过程中单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测设备包括厚度监测设备；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测方法及装置可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产。 |
