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一种单晶金刚石生长过程中的监测装置

基本信息

申请号 CN201922288087.8 申请日 -
公开（公告）号 CN210922513U 公开（公告）日 2020-07-03
申请公布号 CN210922513U 申请公布日 2020-07-03
分类号 G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 分类 -
发明人 王垒;温简杰 申请（专利权）人 上海昌润极锐超硬材料有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 上海昌润极锐超硬材料有限公司
地址 201111 上海市闵行区陪昆路206号第18幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，包括化学气相沉积设备、厚度监测设备和移动平台；化学气相沉积设备设有沉积室、沉积平台和可视窗；可视窗用于监测放置于沉积平台上的金刚石，沉积平台设于沉积室内；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜，物镜用于通过可视窗监测放置于沉积平台上的金刚石；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据，物镜设于移动平台上且朝向化学气相沉积设备。该监测装置通过移动平台和厚度监测设备，可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产，减少水、电、气、人工等各方面的损失。