具有分拣保护结构的垂直腔面发射激光器
基本信息
| 申请号 | CN202110834620.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113285352A | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN113285352A | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | H01S5/183（2006.01）I;H01S5/028（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吉祥;江蔼庭;王青;赵风春;王健军 | 申请（专利权）人 | 华芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵丽婷 |
| 地址 | 100020北京市朝阳区佳汇国际中心B座1107 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了具有分拣保护结构的垂直腔面发射激光器。该垂直腔面发射激光器包括：衬底，所述衬底上设有发射腔柱体和外延结构，所述发射腔柱体与所述外延结构之间形成有刻蚀槽；分拣保护结构，所述分拣保护结构形成在所述外延结构上，且高度高于所述发射腔柱体。该垂直腔面发射激光器的外延结构上设有高于发射腔柱体的分拣保护结构。由此，在分拣过程中，分选机台吸嘴可以压在该分拣保护结构上，不会压迫到发射腔柱体，从而避免发射腔柱体断裂。另外，分拣保护结构还可以避免分选机台吸嘴与发射腔面接触污染发射腔面。 |
