一种可自动换水的晶圆存放盒

基本信息

申请号 CN201922187821.1 申请日 -
公开(公告)号 CN211108689U 公开(公告)日 2020-07-28
申请公布号 CN211108689U 申请公布日 2020-07-28
分类号 B65D25/02(2006.01)I 分类 -
发明人 胡建军 申请(专利权)人 苏州英尔捷半导体有限公司
代理机构 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 代理人 苏州英尔捷半导体有限公司
地址 215000江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种可自动换水的晶圆存放盒,包括主体和内管,所述主体的中部设置有箱体,且箱体的顶端开设有桶口,所述桶口的底部固定有底盘,所述箱体的中部设置有内笼,所述内笼的底端设置有海绵垫,所述箱体的左右两端设置有手把,所述箱体的右侧设置有水泵,所述箱体的中部设置有固定管,所述内管设置于固定管的内壁。该可自动换水的晶圆存放盒设置有内笼,便于使用者将完成好的晶圆进行取出,内笼的底部设置有海绵垫,有效的起到防护的作用,使用者将存放盒注满水,防止晶圆自然干燥后表面留下水痕或者其它污渍,难以清理,为后面清洗烘干等工序做准备,内笼通过滚轮在箱体的后端的滑槽进行滑动,有效的将晶圆向上推动。