一种微透镜阵列成像光刻装置设备
基本信息
| 申请号 | CN201922429119.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211348993U | 公开（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申请公布号 | CN211348993U | 申请公布日 | 2020-08-25 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张博;路海;马伟生;党燕;刘洪涛;许长全 | 申请（专利权）人 | 新乡市百合光电有限公司 |
| 代理机构 | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 新乡市百合光电有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新乡市新乡经济开发区玉龙路西段 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括装置主体，所述装置主体的后端设置有连接板，所述连接板的内部设置有滑轮，所述装置主体的前端安装有固定机构，所述装置主体的后端连接板的上方设置有把手，所述装置主体的内部设置有滑杆，所述滑杆的外部装置主体的前方设置有移动板，所述移动板的上端设置有电机箱，所述电机箱的内部设置有散热机构，所述电机箱的内部散热机构的下方连接有收集盒。本实用新型所述的一种微透镜阵列成像光刻装置设备，可以便于在装置的固定，可以便于装置的内部散热，可以防止灰尘进入到装置的内部，同时也可以收集灰尘，便于装置内部烟气的排出。 |
