曲面反射镜镀膜校正板

基本信息

申请号 CN201821997958.2 申请日 -
公开(公告)号 CN209481777U 公开(公告)日 2019-10-11
申请公布号 CN209481777U 申请公布日 2019-10-11
分类号 C23C14/24;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/10 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 刘洪涛;许斌;马伟生;张博;武鹏 申请(专利权)人 新乡市百合光电有限公司
代理机构 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 新乡市百合光电有限公司
地址 453003 河南省新乡市新乡经济开发区玉龙路西段
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种曲面反射镜镀膜校正板,其特征在于:支架对称固定在镀膜机腔体的蒸发源的上面,且支架一端与腔体固定,且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸,所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固螺孔,校正板的形状呈鱼骨状,且鱼骨状的脊背面上加工有与支架相同的紧固孔并通过螺栓紧固,且鱼骨状两侧的鱼翅刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源。本技术方案解决了曲面反射镜在镀膜时不均,从而提高镀膜的合格率,提高产品质量。